羅茨-旋片-油擴散泵真空機組
特點(diǎn)與應用：
該機組采用油做工作介質(zhì)，對于怕油污染的真空環(huán)境，其使用受到了一定限制。但采用五氯酚苯基乙醚或五氯酚苯基硅氧烷為工作液，返油就會(huì )得到很大改善。也可以采用水冷擋板，再裝一個(gè)簡(jiǎn)單的液氮阱，可使返油率小于5×10-6mg/cm2因而可廣泛地應用于光學(xué)工業(yè)、電子工業(yè)、真空冶金、航天及原子能工業(yè)中。
該機組的主泵有：（JK系列）直腔式油擴散泵和（JKT系列）凸腔式油擴散泵兩種類(lèi)型。典型的應用設備有各種真空單晶爐、真空燒結爐和真空鍍膜機等。
該機組具有結構緊湊，操作靈活可靠，使用方便等特點(diǎn)，廣泛應用于電子工業(yè)、冶金工業(yè)、化學(xué)工業(yè)、原子能工業(yè)以及宇航等科研技術(shù)領(lǐng)域?？蔀檎婵諢Y爐，各種真空鍍膜機以及真空電子束焊機、各類(lèi)真空電爐、電子顯微鏡、各種電子射線(xiàn)、加速器、宇宙空間模擬容器所需之高真空環(huán)境均可用JK系列擴散泵真空機組來(lái)實(shí)現。
該機組可配套提供JZ系列油擴散噴射泵真空機組（又稱(chēng)油增壓泵機組）。該機組抽氣能力大、粗抽時(shí)間短、設備維護簡(jiǎn)單、操作方便，是真空應用設備的配套設備。但該機組不適于排除對金屬有腐蝕作用及對泵油產(chǎn)生化學(xué)反應的氣體?，F廣泛地被太陽(yáng)能制品企業(yè)所應用。
