羅茨真空泵工作原理
羅茨真空泵是一種無(wú)內壓縮的真空泵,通常壓縮比很低,故高、中真空泵需要前級泵??勘们粌纫粚θ~形轉子同步、反向旋轉的推壓作用來(lái)移動(dòng)氣體而實(shí)現抽氣的真空泵。羅茨真空泵是指具有一對同步高速旋轉的鞋底形轉子的機械真空泵,此泵不可以單獨抽氣,前級需配油封、水環(huán)等可直排大氣。
它的結構和工作原理與羅茨鼓風(fēng)機相似,工作時(shí)其吸氣口與被抽真空容器或真空系統主抽泵相接。這種真空泵的轉子與轉子之間、轉子與泵殼之間互不接觸,間隙一般為0.1~0.8毫米;不需要用油潤滑。轉子型線(xiàn)有圓弧線(xiàn)、漸開(kāi)線(xiàn)和擺線(xiàn)等。漸開(kāi)線(xiàn)轉子泵的容積利用率高,加工精度易于保證,故轉子型線(xiàn)多用漸開(kāi)線(xiàn)型。羅茨真空泵的轉速可高達3450~4100轉/分;抽氣速率為30~10000升/秒(1升=10-3米3);極限真空:?jiǎn)渭墳?.5×102帕,雙級為1×103帕。
羅茨真空泵的真空除取決于泵本身結構和制造精度外,還取決于前級泵的真空。為了提高泵的真空度,可將羅茨真空泵串聯(lián)使用。羅茨真空泵的工作原理與羅茨鼓風(fēng)機相似。由于轉子的不斷旋轉,被抽氣體從進(jìn)氣口吸入到轉子與泵殼之間的空間v0內,再經(jīng)排氣口排出。由于吸氣后v0空間是全封閉狀態(tài),所以,在泵腔內氣體沒(méi)有壓縮和膨脹。 但當轉子頂部轉過(guò)排氣口邊緣,v0空間與排氣側相通時(shí),由于排氣側氣體壓強較高,則有一部分氣體返沖到空間v0中去,使氣體壓強突然增高。當轉子繼續轉動(dòng)時(shí),氣體排出泵外。羅茨真空泵在泵腔內,有二個(gè)“8”字形的轉子相互垂直地安裝在一對平行軸上,由傳動(dòng)比為1的一對齒輪帶動(dòng)作彼此反向的同步旋轉運動(dòng)。在轉子之間,轉子與泵殼內壁之間,保持有一定的間隙,可以實(shí)現高轉速運行。